电子显微镜
----可靠、高质量的真空解决方案,应对电子显微镜挑战
电子显微镜由电子发生柱、系统电子元件和复杂的软件组成,使样品观察、标记、储存和分析变得更加容易。电子显微镜有多种类型,例如透射、扫描和场发射,以及真空度,以适应不同的应用。高真空可确保小电子不会被其他气体分子、灰尘或碎屑偏离其路径,从而导致图像质量不佳和样品表征不当。用于产生高能电子的电子枪组件也在真空下运行,以防止放电从系统中逸出。
电子显微镜的新挑战
分析范围更广的较小样品以及更新的设计规格的需求给电子显微镜带来了新的挑战。需要超精密真空组件以及全面的数据分析能力来支持电子显微镜技术的进步。当今的一些主要挑战包括:
• 严格的分辨率、样品通量和测量要求
• 持续、一致的真空度,确保电子束完整性和接近零振动
• 联用技术 – 与其他分析仪器无缝集成
• 快速、自动化的样品数据处理和分析
电子显微镜解决方案
电子从样品中反弹需要严格控制的真空环境,以确保图像完整性分辨率。为了保持电子束的完整性,真空室必须完全没有划痕、像差、污染并正确真空密封。